フレキシビリティ確保技術
どこでも微振動性能確保
敷地の有効活用の観点から、生産ラインを上下に積み重ねるケースも増加
鹿島の微振動性能確保技術によって上層階での性能低下を回避
- 上層階でも露光機設置が可能
- 生産レイアウトの自由度が格段に向上
- 大スパンでも微振動性能確保
■ 概要
一般的に微振動性能を要求される生産設備は最下層にレイアウトしますが、鹿島の設計なら上階クリーンルームでも微振動性能を確保できるため、生産レイアウトのフレキシビリティーが格段に向上します。
すべての▼地点で微振動性能を確保
上層階に設置された露光機基礎
（白い床の部分）
微振動スペックの例
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