電子デバイス生産施設

最近、半導体の露光機だけでなく液晶工場でも高剛性床が求められます。
鹿島は容易に設置・移動可能な「高剛性床：Ks嫌振架台」を提案いたします。

鹿島のKs嫌振架台の特長

• 床剛性1.0 x 10⁸ N/mを満足します。
• 稼動しているクリーンルーム内でも設置可能です。
• どのメーカーの装置にも対応できます。
• 後からでも位置を変更できます。
• アウトガスの発生が極めて少ない。
• スキャン型ステッパー、コーダー等の高剛性要求装置にも対応できます。

Ks嫌振架台

実際の施工例

1.0 x 10⁸ N/m以上の動剛性が確保されているのがわかります。

Ks嫌振架台の実測値

どこでも自由に嫌振床を設置できるだけでなく、すべての作業が床上からできるように改良した高剛性床：「sKs嫌振架台」を保有しています。

この「sKs嫌振床」は、補助鋼材を短くし、グレーチング床の脚を設置したままの状態で施工できるようにすることで、すべての作業が床上から行うことができます。したがって嫌振床エリアの下部設備配管等の盛替えが不要となり、費用・工期共に削減することができます。何より、操業を継続したまま装置のレイアウト変更が行えることが最大のメリットです。

また、嫌振床への変更、復帰時にグレーチング床の脚の取り外しが必要ないため、騒音、振動、粉塵の心配がありません。