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電子デバイス生産施設

リスク軽減技術

部分免震技術

重要な機器を経済的に免震化、効果的に地震から守る

  • 最小のコストで充分な安全性。費用対効果の非常に高い地震対策
  • 必要な部分を効果的に地震から守る
  • リニューアルに最適。短期間で導入が可能

概要

部分免震は既存工場の重要な生産装置単体への地震対策として有効です。
また上下動に対応した制震床を採用することで直下型の地震にも対応可能です。

部分免震システム加振実験

実際の地震の振動を与えて免震効果の確認を行いました。加振実験で振動台や壁が激しくゆれているのに対して、免震床は揺れが少なく効果が明らかです。

改ページ

部分免震システム

建物全体に免震装置を設置し、免震構造とする建物免震に対し、特定の生産装置が設置される床だけを免震化するのが部分免震です。
必要な部分だけを免震化するため最小限のコストで重要な生産装置を守ることが可能です。 既存工場の免震リニューアルも短期間で経済的に行うことができ、導入に際しても建築基準法上の手続きが不要です。

免震装置には、ボールベアリングや積層ゴム、オイルダンパなど様々な要素技術から組み合わせを選定し、荷重や装置条件など、生産装置の特性に最も適した部分免震システムを構築します。
高性能の露光機などの微振動・動剛性性能要求も満足させることが可能です。

クリーンルーム内での適用事例

クリーンルーム内での適用事例

上下動制震床システム(直下型地震への適用可能)

鹿島は上下動制震床を開発しました。この制震床により、小さい地震から大きい地震に対して3分の1から5分の1に低減することが可能となりました。
微振動を嫌う機器を載せる場合には、地震時だけ制震が作動することが可能となっています。

上下動免震床システム(直下型地震への適用可能