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電子デバイス生産施設

省エネルギー・環境対策技術

排水・廃液放流ゼロシステム

産業廃棄物量の削減や水消費量の抑制、排水規制地域への対応などが可能

  • 極限まで廃棄物量を削減
  • 設備投資は2年で回収可能
  • 厳しい排水規制地域での対応可能

概要

電子デバイス施設では洗浄工程を含めた各プロセスで大量の水が消費され、多量の生産排水・廃液が排出されます。鹿島は環境負荷を低減するためにも、敷地内で排水と廃液を処理・再利用する「排水廃液放流ゼロシステム」を提案。産業廃棄物量の削減や水消費量の抑制、排水規制地域への対応などを可能にします。

放流ゼロシステム処理フロー

生産排水を希薄排水と濃厚廃液に分類。純水処理システムとプロセス排水処理システムで回収・リサイクル処理を行います。廃液は3種に分け、さまざまな方法を利用して処理します。

放流ゼロシステム
純水処理システムフロー プロセス廃液処理システムフロー
改ページ
従来方式との処理コスト比較

従来のクローズドシステムと比較すると
処理コストは30%に削減可能。

設備投資回収年数試算

試算によると、ランニングコスト削減により設備投資は2年で回収できます。

※実際の運転実績により、廃液量が90%も削減できることが確認されています。