セミコン・ジャパン2010に出展

『スマート×グリーン～低炭素社会の次世代工場～』

　鹿島（社長：中村満義）は、2010年12月1日（水）～3日（金）まで幕張メッセ国際展示場（千葉市美浜区）で開催される「セミコン・ジャパン2010」に出展します。『スマート×グリーン～低炭素社会の次世代工場～』をテーマに、電子デバイス施設に関する当社の技術とサービスを紹介します。
　電子デバイス施設は、多くのエネルギーを消費することから、省エネルギーやCO2削減技術が求められています。また、自然災害や微振動への対策など様々なリスクに対応する必要もあります。近年は、既存の生産施設を、これらのニーズに対応させるリニューアル技術も注目を集めています。
　本展示会では、当社が新たに開発した注目技術を中心にセミナーやパネル展示を行います （セミコン・ジャパン2010　鹿島ブースのご案内）。

鹿島ブースイメージ（12/1～3幕張メッセ　鹿島ブース／7ホール7B-301）

●セミナー内容
　◇技術紹介セミナー
　　・クリーンルームリニューアル技術
　　・次世代クリーン環境構築技術
　　・鹿島オペレーションアシスト^®（工場向けエネルギーマネジメントシステム）
　◇特別セミナー
　　・新会計制度・資産除去債務への対応
　　　　　株式会社イー・アール・エス（地震・風水害等リスク評価会社）
　　・創エネ×省エネ～低炭素時代の半導体工場の構築～（仮）
　　　　　東京電力株式会社　法人営業部産業エネルギーソリューション部
　◇体感デモ
　　・可搬型体感用振動台「ポータ震（ぶる）」

●新技術・注目技術
　1.鹿島オペレーションアシスト^®
　　このたびBEMS（Building Energy and Environment Management System）の進化形と
　して「鹿島オペレーションアシスト^®」を新たに開発しました。これまでのBEMS機能に加
　え、収集した施設のエネルギーデータをリアルタイムで自動分析する機能を持ち、問題
　点の早期把握・運用改善を実現できます。

　　主な機能は次の通りです。
　　◇省エネシステムを運用する場合としない場合のCO2排出量をリアルタイムで比較し、
　　削減効果を把握できます。
　　◇消費エネルギーの大きな機器の運用効率を「見える化」し、即座に問題点の把握・改
　　善策の立案ができます。
　　◇異常時には施設管理者に即座に不具合を通知します。

「鹿島オペレーションアシスト^®」概念図

　2.次世代クリーン環境構築技術
　　次世代のクリーン環境を構築する技術として、新たに「局所清浄型クリーンルーム」と
　「BEMS-CR（Clean Room）」を開発しました。当社のシミュレーションや実験施設を駆使し
　た気流制御や分子汚染対策技術のノウハウを活用した技術で、低コスト・短工期、製造
　環境の高品質化とともに、クリーンルームの省エネルギー化を実現します。

　　◇「局所清浄型クリーンルーム」
　　　高清浄エリアのミニマム化を実現するクリーン空調システムです。高清浄エリアの近
　　傍に「エアカーテンFFU」（特許出願中）を配置し、清浄空気の境界層を作ることで局所
　　クリーン環境を確保します。これにより周辺エリアと高清浄エリア間のメンテナンススペ
　　ースを共有でき、装置間スペースの縮減、さらには建屋全体の縮小化を実現します。

　　◇クリーンルーム総合制御監視システム「BEMS-CR」
　　　クリーンルームの環境に合わせた設備機器の制御と省エネルギー評価機能を兼ね
　　備えたクリーンルームに特化したBEMSです。

「BEMS-CR」概念図

　3.クリーンルームリニューアル技術
　　近年、クリーンルームのリニューアル技術が注目を集めています。当社は「市場競争力
　強化」「生産品目変更」「CO2削減・BCP対応」という3つの視点から、リニューアルによる
　企業へのメリットを「見える化」しています。企画段階から設計、施工、運用に至るまで、
　豊富な実績に基づき、ニーズに適した技術を用いて付加価値創出を実現します。

　　◇K-CaM　PASS-I^™＝CO2削減計画サポートシステム
　　（Kajima-Carbon　Minus　Planning　and　Analysis　Support　System-Industrial）
　　　本システムは、「建屋」「設備」「生産装置」を総合的に関連付け、施設全体の現状の
　　CO2排出量と削減余地を算出します。さらに、投資対効果の観点からCO2削減対策を
　　順位付けし、実施すべき優先順序を提案します。リニューアルに併せて活用することに
　　より効率的なCO2削減計画をサポートします。展示会場でデモンストレーションを行う予
　　定です。

K-CaM PASS-I^™の画面（1）　　　　　　　　　K-CaM PASS-I^™の画面（2）
（CO2排出量・削減余地表示）　　　　　　　　（投資対効果・削減項目表示）

　　◇高性能装置対応技術
　　　BCP対策として高価な生産装置エリアへ部分免震設置や、歩留向上あるいは微振動
　　対策として床上から施工可能な高剛性床システム（sKs嫌振架台）など、操業を継続し
　　たままリニューアル可能な技術を提案します。展示会場で、部分免震の実機をご覧いた
　　だけます。

　　部分免震設置事例　　　　　　　　　　　　　sKs嫌振架台　施工イメージ

プレスリリースに記載された内容（価格、仕様、サービス内容等）は、発表日現在のものです。
その後予告なしに変更されることがありますので、あらかじめご了承ください。