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電子デバイス生産施設

省エネルギー・環境対策技術

省エネルギー技術

CO2排出量削減の観点からも省エネルギー技術は欠かせません。

  • 高効率機器により運転を最適制御し、エネルギーロスを低減
  • 生産施設で発生する廃熱を回収・利用し、負荷を低減
  • 各種省エネシステムのランニングコスト、CO2削減効果を短時間で算出

高効率熱源システム

インバータターボ冷凍機の採用や、冷水・冷却水の最適制御により、省エネルギーを実現する熱源システムです。

高効率熱源システム
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システム特長
1
高効率インバータターボ冷凍機の採用
2
冷却塔統合設置(定速・インバータごと)

 

運転制御方式特長
3
冷凍機を負荷熱量により台数制御
4
冷水大温度差送水:一次7℃、二次10℃
5
冷水供給温度を外気露点温度により変更
6
冷水ポンプを負荷流量によりINV運転
7
冷却水ポンプを冷却水温度によりINV制御

フリークーリングシステム

冬季スタンバイとなる冷却塔を利用し冷水を製造し、冷凍機負荷を低減します。 また、ドライコイルなどの利用により、冷水大温度差を実現し搬送動力を低減します。

フリークーリングシステム
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フリークーリングによる冷凍機負荷削減効果

冬季にフリークーリングにより冷水を製造することで、冷凍機の消費エネルギーが年間で8%削減可能となりました。

フリークーリングによる冷凍機負荷削減効果

廃熱回収システム

外調機による廃熱回収システム

生産冷却水など生産施設で発生する廃熱を利用し、冬季の外気加熱に利用します。加熱用ボイラー負荷の低減を可能とすると共に、生産冷却水冷却用冷凍機負荷の低減も可能となります。

外調機による廃熱回収システム
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廃熱利用気化式加湿システム

廃熱を利用し予熱した外気に、加湿を行う方式です。廃熱利用の加熱方式ため、温熱源エネルギーが削減できます。さらに気化式加湿のため、蒸気が不要となり、ボイラ・レス化が図れます。

廃熱利用気化式加湿システム
冷凍機廃熱利用純水加熱

純水を効率よく造る為には、工業用水などの原水を23℃程度まで加熱する必要があります。 原水加熱に冷凍機の廃熱などを利用することにより、加熱用ボイラー負荷の低減が可能となります。 原水は、井戸水・河川水などを使用することが多く、一年中廃熱を利用することが出来ます。

冷凍機廃熱利用純水加熱
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廃熱回収によるボイラー負荷削減効果

廃熱回収によりボイラー負荷を年間で30%削減した例です。純水原水加熱用のボイラー負荷は、ほぼなくなっています。冬季の空調加熱負荷は残っていますが、エアーコンプレッサーの廃熱などの徹底した廃熱利用により ゼロに近づけることも出来ます。

廃熱回収によるボイラー負荷削減効果
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省エネルギー簡易評価ツール

半導体やFPD工場における、代表的な各種省エネルギー・システムの導入効果を、“最小限の入力条件”で、“短時間”に算出します。

省エネルギー簡易評価ツール
熱源システム段階投資プログラム

生産施設で多くのエネルギー消費を占める熱源システムについて、生産規模、熱源種別、ユーティリティ条件を入力することで、生産実装段階毎のLCC、LCCO2を算出します。

熱源システム段階投資プログラム