歩留り向上技術
クリーン環境施設によるソリューション技術
お客様の様々なニーズにお応えするため、
技術研究所での実験・事前評価を行うことで、より最適なクリーンルームを提供
- 豊富なクリーンルームのバリエーションを提案可能
- CFD（数値流体解析）により複雑なクリーンルームの気流分布も解析
- お客様の生産環境を再現可能な最高水準クリーンルームを技術研究所内に保有
■ 電子デバイス施設への顧客ニーズ
電子デバイス生産施設に対するお客様の顧客ニーズは、『建設費のコストダウン』、『ランニングコスト削減』、『短工期』に加え、『CO2排出量削減』や『省エネルギー』、 『事業継続リスクの低減』や『装置の大型化や高性能化への対応』など、多様化しています。
■ クリーンルームのバリエーション
鹿島では、豊富な実績と経験に基づき、製造環境やご予算、将来対応などに応じて、各種クリーンルームの特長を評価、お客様のご要望に合わせて最適なクリーンシステムを提供いたします。
フリーアクセスフロア・パネル方式
- 半導体、HDD、FPD（TFT）などの前工程
- 微細プロセス向け
- 全面層流クリーンルームのような高清浄度空間の実現が可能
- レイアウトフリー床システムにより、嫌振架台や重量装置にも対応可能
- ユーティリティスペースが十分に確保され、フレキシビリティに優れる
- カテナリーアーチシステム（鹿島特許）と組合わせることで、大スパン、多層階クリーンルームにも対応可能
二重スラブ床方式
- PDP前工程、FPD研磨工程
- 大型ライン向け
- ユーティリティスペースが十分に確保され、フレキシビリティに優れる
- コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易
- 精密生産装置まわりに、低コストにて局所クリーン環境性能の確保が可能
床なし（一部ピット）方式
- カラーフィルタ前工程、PDP前工程、ウェーハ研磨、CMP工程
- 低清浄度工程、大重量・加振力装置工程
- 低清浄度工程において、低コストにて必要なクリーン性能を実現
- 効率的なピットレイアウトにより、床下なしでも排水設備に対応可能
- コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易
床下なし（ピットなし）方式
- カラーフィルタ前工程、PDP前工程、CMP工程、低清浄度工程、大重量・加振力装置工程
- 低清浄度工程において、低コストにて必要なクリーン性能を実現
- 建物全体高さの削減が可能
- コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易
■ 気流シミュレーション技術
室内環境の事前評価として、コンピュータを用いた気流シミュレーション技術（CFD：数値流体解析）は広く採用されています。最近では、コンピュータの高性能化により、大型のクリーンルームや低風量・乱気流クリーンルームといった複雑なクリーンシステムも評価することが可能です。
装置周囲の気流を詳細解析
高精度な数値気流解析手法の採用により、従来難しかった低風速域の気流性状や機器発熱による上昇気流の影響を精度よく解析することが可能となりました。
床面堆積粉塵の挙動を予測
シュミレーションにより上昇気流発生時の汚染物質の挙動を予測可能です。予測結果は、適切なクリーン環境性能確保のための設備レイアウト検討に活用します。
■ クリーン環境施設
クリーン環境施設は、様々な生産環境を再現し、空間性能を精度高く事前評価することを目的に、当社技術研究所 西調布実験場に構築した最高水準のクリーン施設です。
クリーン環境施設
鹿島技術研究所（飛田給研究センター）
■ クリーン環境施設の機能（多目的対応）
クリーン環境施設は、半導体やフラットパネル、ハードディスク、フォトマスク製造など、要求される様々なクリーン環境を再現することが可能です。
| ＦＦＵは任意に発停・風量変更・ レイアウト変更が可能 |
 |
|
| ブランクパネルにより床開口を任意に設定可能 |
■ クリーン環境施設の機能（LED照明）
これからの照明として注目されるLED照明を全面採用。長寿命のLED照明を高天井に採用することで、省メンテナンスを図ることが出来ます。また、システム天井にフラットな納まりとすることで、有効高さの確保が可能です。
LED照明外観と照度分布
LED照明断面図
■ 局所清浄型クリーンシステム
「局所清浄型クリーンシステム」は高清浄エリアのミニマム化を目指したクリーン空調システムです。
高清浄エリアの近傍に「エアカーテンFFU」を配置し清浄空気の境界層を作ることで、局所クリーン環境を確保しながら周辺エリアと高清浄エリアを区画するパーティションを短縮化します。それにより、装置間スペースの縮減、さらには建屋全体の縮小化を実現します。
■ BEMS-CR（クリーンルーム統合制御監視システム）
クリーンルームの省エネルギー評価機能と、室内環境に合わせ設備機器の最適制御を兼ね備えたクリーンルーム統合制御監視システムBEMS-CRを開発しました。
