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電子デバイス生産施設

歩留り向上技術

磁気障害対策技術

EB露光機や電子顕微鏡などは地磁気の1/100の変動で誤動作
鹿島の磁気シールド技術で磁気障害のない快適な空間を提供

  • 建設地測定から設計段階、竣工後の建物検証にわたりトータルに磁気環境を調査・予測・対策・評価
  • 施工中の溶接作業等による磁気障害を独自プログラムで解析・回避
  • 世界初・開放型磁気シールド技術は、より高い性能と透視性を実現

開放型磁気シールド技術

鹿島の開発した「開放型磁気シールド」は、帯状の磁性材を並べてシールドする全く新しい技術です。[ 特許:第3633475号 登録2005/01/07 ]

従来の磁気シールド技術は、磁気の外部漏洩や内部浸入から防ぎたい空間を、板状の磁気シールド材(ケイ素鋼板等)で、隙間なく覆う方法が採られていました。これに対し、鹿島は帯状のシールド材を間隔を空けて複数配列するだけで、従来方式と同等以上の効果を得られる画期的な方式を発明しました。材料の軽量化はもちろん、従来方式に比べて優れたシールド性能を発揮します。

遮蔽なし

遮蔽なし

  従来方式

従来方式

  鹿島方式

鹿島方式


密閉(従来方式)

密閉(従来方式)

  開放(鹿島方式)

開放(鹿島方式)

  ハイブリッド

ハイブリッド


精密機器の誤動作防止

EB露光機や電子顕微鏡は地磁気の1/100の変動にも誤作動してしまうほど敏感です。これらの機器を正常に稼動させるためには、磁気シールドが欠かせません。

新方式の磁気シールド技術を部屋に応用したものが、開放型磁気シールドルームです。材料の軽量化はもちろん、従来方式の数倍のシールド性能を発揮する他、透視性・通気性を確保することも可能です。また、重量物による床面シールド材の性能劣化回避に主眼をおいた、ハイブリッド型も可能です。

精密機器イメージ

施工中の溶接作業等における磁気障害対策

増築工事・未実装部の実装工事など施工中の溶接作業により発生する磁場を解析し、稼働中のラインへの影響を予測します。予測結果を元に対策を行なうことによって、稼働中のラインへの影響を回避します。

磁場解析プログラムのイメージ画面

磁場解析プログラムのイメージ画面