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電子デバイス生産施設

リスク軽減技術

多層階免震技術

地震被害から大切な人命と生産装置を守る

  • 大被害による操業停止リスクを大幅に軽減する免震工場
  • 免震とクリーンルームに欠かせない微振動防止性能を両立
  • 多層階の大スパンクリーンルーム
TOPIC: 稼働中工場の免震装置入替(世界初!)

鹿島は、稼働中の半導体製造工場において、生産を止めずに免震装置の入れ替えを世界で初めて行なった実績もあります。取替中における万一の地震対策も施しながら、極度に振動を嫌う生産装置にも影響を与えることなく工事を行ないました。

トピック写真

世界一の実績を誇る鹿島の免震技術
電子デバイス工場での設計施工実績拡大中

免震構法に必要な建設コストは、電子デバイス工場全体の総初期投資金額に比べればわずかなもので、その費用で人命と財産が守れます。
日本では工場等の地震保険にはほとんど入れませんし、入れたとしても巨額な保険料を支払う必要があります。免震化のコストは保険料に比べれば安い費用で安心が買えます。

大スパン多層階クリーンルームに
積層ゴムとすべり支承を適用した免震構法

鹿島は積層ゴムとすべり支承の組み合わせによる免震構法を提案いたします。この組み合わせ方により免震と微振動防止性能を両立させることができます。中小地震に対する免震効果を期待したり、免震層の減衰性を高めるためにオイルダンパーを配置する場合もあります。
また免震部分に特殊な工夫をすることで一般の建物と、ほぼ工期は変わりません。

大スパン多層階クリーンルームに積層ゴムとすべり支承を適用した免震工法
積層ゴム
積層ゴム
柔らかく変形することで地震エネルギーを吸収する積層ゴムを使った免震装置。地震が過ぎ去ると元の位置に戻ります。
すべり支承
すべり支承
フッ素樹脂の低摩擦特性を応用し、地震時の建物の揺れを低減します。固有振動数を持たないため、常時微振動などを増幅させることがありません。
オイルダンパー
オイルダンパー
油を満たしたシリンダと小さな弁を備えたピストンで構成されます。シリンダとピストンの間に相対的な動きが生じた際の油の流体抵抗を利用して、免震層に減衰力を付加します。
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震度6強でも生産ラインに異常なし

地震時に地盤は激しく震動しますが、免震建物は全体がゆっくり揺れるだけです。下層階から上層階まで同等の免震効果が得られ、多層階工場の安全性を確保することができます。「V-Fine多層階免震工場」では、震度6強の大地震でもクリーンルーム床加速度を100~200gal程度に抑えることができます。

応答加速度比較 Comparison of response acceleration
代表的地震波を入力して非免震と免震の応答加速度を比較。
生産装置非損傷域とされる100~200gal程度に抑えることができる。

応答加速度比較:代表的地震波を入力して非免震と免震の応答加速度を比較。生産装置非損傷域とされる100~200gal程度に抑えることができる。
非免震
Without base isolation
免震
With base isolation
免震の効果(シミュレーションCG)

多層階免震の効果を簡易にシミュレートしました。免震の無い建物では上階に行くほど揺れも大きくなり、天井の破損、FFUの落下、生産装置の転倒などがおこっています。免震の場合、揺れが少なく効果が明らかです。

一般構造の場合

免震構造の場合