クリーン環境施設によるソリューション技術

お客様の様々なニーズにお応えするため、
技術研究所での実験・事前評価を行うことで、
より最適なクリーンルームを提供

• 豊富なクリーンルームのバリエーションを提案可能
• CFD（数値流体解析）により複雑なクリーンルームの気流分布も解析
• お客様の生産環境を再現可能な最高水準クリーンルームを技術研究所内に保有

電子デバイス施設への顧客ニーズ

電子デバイス生産施設に対するお客様の顧客ニーズは、『建設費のコストダウン』、『ランニングコスト削減』、『短工期』に加え、『CO₂排出量削減』や『省エネルギー』、『事業継続リスクの低減』や『装置の大型化や高性能化への対応』など、多様化しています。

電子デバイス施設への顧客ニーズ

クリーンルームのバリエーション

鹿島では、豊富な実績と経験に基づき、製造環境やご予算、将来対応などに応じて、各種クリーンルームの特長を評価、お客様のご要望に合わせて最適なクリーンシステムを提供いたします。

フリーアクセスフロア・パネル方式

半導体、HDD、FPD（TFT）などの前工程

微細プロセス向け

• 全面層流クリーンルームのような高清浄度空間の実現が可能
• レイアウトフリー床システムにより、嫌振架台や重量装置にも対応可能
• ユーティリティスペースが十分に確保され、フレキシビリティに優れる
• カテナリーアーチシステム（鹿島特許）と組合わせることで、大スパン、多層階クリーンルームにも対応可能

二重スラブ床方式

PDP前工程、FPD研磨工程

大型ライン向け

• ユーティリティスペースが十分に確保され、フレキシビリティに優れる
• コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易
• 精密生産装置まわりに、低コストにて局所クリーン環境性能の確保が可能

床なし（一部ピット）方式

カラーフィルタ前工程、PDP前工程、ウェーハ研磨、CMP工程

低清浄度工程、大重量・加振力装置工程

• 低清浄度工程において、低コストにて必要なクリーン性能を実現
• 効率的なピットレイアウトにより、床下なしでも排水設備に対応可能
• コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易

床下なし（ピットなし）方式

カラーフィルタ前工程、PDP前工程、CMP工程、低清浄度工程、大重量・加振力装置工程

• 低清浄度工程において、低コストにて必要なクリーン性能を実現
• 建物全体高さの削減が可能
• コンクリート床により、嫌振装置や重量機器への対応が容易

気流シミュレーション技術

室内環境の事前評価として、コンピュータを用いた気流シミュレーション技術（CFD：数値流体解析）は広く採用されています。最近では、コンピュータの高性能化により、大型のクリーンルームや低風量・乱気流クリーンルームといった複雑なクリーンシステムも評価することが可能です。

クリーン環境施設

クリーン環境施設は、様々な生産環境を再現し、空間性能を精度高く事前評価することを目的に、当社技術研究所 西調布実験場に構築した最高水準のクリーン施設です。

クリーン環境施設

鹿島技術研究所（飛田給研究センター）

クリーン環境施設の機能（多目的対応）

クリーン環境施設は、半導体やフラットパネル、ハードディスク、フォトマスク製造など、要求される様々なクリーン環境を再現することが可能です。

ＦＦＵは任意に発停・風量変更・
レイアウト変更が可能

• 半導体製造
• フラットパネルディスプレイ製造
• ハードディスク製造
• フォトマスク製造
• その他、装置、材料など

ブランクパネルにより床開口を任意に設定可能

クリーン環境施設の機能（LED照明）

これからの照明として注目されるLED照明を全面採用。長寿命のLED照明を高天井に採用することで、省メンテナンスを図ることが出来ます。また、システム天井にフラットな納まりとすることで、有効高さの確保が可能です。

LED照明外観と照度分布

LED照明断面図

局所清浄型クリーンシステム

「局所清浄型クリーンシステム」は高清浄エリアのミニマム化を目指したクリーン空調システムです。
高清浄エリアの近傍に「エアカーテンFFU」を配置し清浄空気の境界層を作ることで、局所クリーン環境を確保しながら周辺エリアと高清浄エリアを区画するパーティションを短縮化します。それにより、装置間スペースの縮減、さらには建屋全体の縮小化を実現します。

局所清浄型クリーンシステム

BEMS-CR（クリーンルーム統合制御監視システム）

クリーンルームの省エネルギー評価機能と、室内環境に合わせ設備機器の最適制御を兼ね備えたクリーンルーム統合制御監視システムBEMS-CRを開発しました。

BEMS-CR（クリーンルーム統合制御監視システム）